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气浮隔振平台 - ZOT系列

产品特点:

ZOT 系列高精密气浮隔振平台

ZOT 系列气浮隔振平台由增强型不锈钢台面,空气阻尼隔振系统,支架组成。台面为三层夹心式蜂窝结构,支架为整体焊接式,带脚 轮方便移动。台面 + 支架中心高度 800mm;固有频率< 1 ~ 2Hz,适用于光通信,激光,半导体行业产线、实验室以及配合高端显微镜、 检测设备使用。

技术指标:

▶上台面为 4-6mm 厚 1Cr13 铁磁不锈钢;

▶下底面为 4-6mm 碳钢,表面喷黑塑处理;

▶平面度:0.02~0.05mm/600mm*600mm;

▶固有频率:< 1 ~ 2Hz,同负载情况相关;

▶台面厚度: 100mm/200mm/300mm;

▶孔距:25mm*25mm;

▶孔径:M6;

ZOT 系列 - 产品选型表:

产品尺寸示意图:

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